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流量量程達(dá)1000L/min，壓力達(dá)500psi，可跟蹤的NIST

GFC 系列氣體質(zhì)量流量控制器結(jié)合一個(gè)直線管狀傳感器和一個(gè)限制流體分子的控制器來提供高精度和重復(fù)性。氣體質(zhì)量流量控制器利用一個(gè)電磁閥和PID電子件保持對(duì)傳感器測(cè)量到的信號(hào)的控制來確定適當(dāng)?shù)牧髁勘嚷?。設(shè)置點(diǎn)能夠通過現(xiàn)場(chǎng)電位器或通過一個(gè)遠(yuǎn)程的0到5VDC或4到20mA模擬信號(hào)來進(jìn)行調(diào)整。流量比率是虛擬化的不受溫度和壓力變化的影響。實(shí)際流量將以工程單位顯示在3位數(shù)字，90°旋轉(zhuǎn)的液晶顯示屏上。本系列可以與GFT系列流量累計(jì)器一起以用于需要測(cè)定流量累計(jì)的場(chǎng)合。GFC系列產(chǎn)品包括一份NIST跟蹤記錄證書。

規(guī)格

介質(zhì)：與接液部件兼容的清潔氣體

接液材質(zhì)： GFC-1XXX: 陽極氧化鋁, 銅, 316不銹鋼 和Viton® O型密封圈;

GFC-2XXX: 316不銹鋼 和Viton® O型密封圈

精度： 滿量程時(shí)±1.5%包括線性以上59-77°F (5-25°C) 和5-60psia (0.35-4bar)

重復(fù)性： 滿量程的±0.5%

反應(yīng)時(shí)間： 實(shí)際流量的±2%以內(nèi)是2秒

輸出： 線性0-5VDC和4-20mA

最大微粒尺寸： 5微米

工作溫度： 32-122°F (0-50°C)

電源： ±12VDC

過程連接： 流速≤50L/m壓縮接頭是1/4 英寸；100和200L/m是3/8英寸；500L/m是1/2英寸；1000L/m是3/4英寸

壓力范圍： 500psig(34.5bar)

泄漏率： 氦氣的1 x 10^-7 sccs

顯示器： 90°可傾斜，3-1/2數(shù)字

認(rèn)證： CE

型號(hào)

流量范圍流量控制器鋁不銹鋼 0-10 SCCM GFC-1101 GFC-2101 0-20 SCCM GFC-1102 GFC-2102 0-50 SCCM GFC-1103 GFC-2103 0-100 SCCM GFC-1104 GFC-2104 0-200 SCCM GFC-1105 GFC-2105 0-500 SCCM GFC-1106 GFC-2106 0-1 L/min GFC-1107 GFC-2107 0-2 L/min GFC-1108 GFC-2108 0-5 L/min GFC-1109 GFC-2109 0-15 L/min GFC-1111 GFC-2111 0-30 L/min GFC-1131 GFC-2131 0-50 L/min GFC-1133 GFC-2133 0-100 L/min GFC-1142 GFC-2142 0-200 L/min GFC-1143 GFC-2143 0-500 L/min GFC-1144 GFC-2144 0-1000 L/min GFC-1145 GFC-2145

流量量程是相當(dāng)于氮?dú)庠?0°F (21°C) @ 760 毫米汞柱的條件下設(shè)定的